對于顯微鏡大家肯定都不陌生，過去大都顯微鏡都停留在光學(xué)領(lǐng)域，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，聲學(xué)的顯微鏡開始出現(xiàn)，而且得到了很廣發(fā)的應(yīng)用。超聲波掃描顯微鏡就是采用了聲學(xué)原理，它不僅能夠?qū)悠芳?xì)節(jié)放大，同時呈現(xiàn)出來的視覺效果也更加的直觀，目前在半導(dǎo)體樣品檢測領(lǐng)域中發(fā)揮了很大的作用，下面就來介紹一下這種設(shè)備的功能特點(diǎn)。

一、可進(jìn)行無損檢測

在半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)中，為了確保產(chǎn)量的質(zhì)量需要嚴(yán)格做好的質(zhì)檢環(huán)節(jié)，質(zhì)檢工作不僅是對產(chǎn)品表面的檢查，還涉及到了產(chǎn)品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。使用超聲掃描顯微鏡的一大好處就是可以進(jìn)行無損傷檢測內(nèi)部結(jié)構(gòu)，而且檢測的速度非?？?，還可以根據(jù)樣品特點(diǎn)進(jìn)行分層掃描檢測，在發(fā)現(xiàn)樣品缺陷的時候以直觀的圖像進(jìn)行呈現(xiàn)，便于工作人員的分析。

二、可直觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)

光學(xué)顯微鏡有它的局限性，無法穿透樣品內(nèi)部進(jìn)行查看，聲學(xué)顯微鏡則不同，它是依靠聲波進(jìn)行掃描，從而能夠穿透到樣品的內(nèi)部，就算是非透明的物體同樣可以穿透。在掃描的過程中，會根據(jù)聲波反射來提供樣品內(nèi)部的三維圖像，就算是非常細(xì)微的瑕疵也能夠通過圖像反映出來，所以這種掃描顯微鏡的可觀察精度是非常高的。

三、觀察過程更加方便

很多人都了解光學(xué)顯微鏡，在實(shí)際操作過程中是比較麻煩的，有著較為嚴(yán)苛的使用環(huán)境要求，且只能進(jìn)行局部的觀察。聲學(xué)顯微鏡則不同，它是直接通過聲波進(jìn)行一定范圍的掃描，對于使用環(huán)境并沒有太嚴(yán)苛的要求，關(guān)鍵是操作起來相當(dāng)方便，免去了對樣品進(jìn)行切片的麻煩，整體的觀察檢測效率更高。

正是因?yàn)槌鷴呙栾@微鏡的功能特點(diǎn)，使得它被廣泛的用于各種產(chǎn)品的質(zhì)檢環(huán)節(jié)，在很多生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。