掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。超聲掃描顯微鏡的原理是利用脈沖回波的性質(zhì),激勵壓電換能器發(fā)射出多束通過耦合液介質(zhì)傳遞到被測樣品,在經(jīng)過不同介質(zhì)時會發(fā)生折射、反射等現(xiàn)象,通過阻抗不同的材料時會發(fā)生波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象,經(jīng)過一系列數(shù)據(jù)采集計算形成灰度值圖片,可用來分析樣品內(nèi)部狀況。

該設(shè)備作為無損檢測分析中的一種,它可以實現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對物料進(jìn)行檢測。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、破壞性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。
科視達(dá)專為廣大用戶提供國際上先進(jìn)的超聲掃描檢測檢驗設(shè)備, 系德國 PVA TePla 超聲波掃描顯微鏡 ( SAM /SAT ) 之中國區(qū)代理。其擁有數(shù)十款超聲掃描顯微鏡整體硬件及相關(guān)的耗材配件。其AM300基本型就支持A-(點掃描),B-(縱向掃描),C-(橫向掃描),D- 斜面掃描、G-/X-橫向多層掃描,P- 縱向多層掃描,3D掃描,Z-實體掃描,透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項),S-掃描(透射 C-掃描同時進(jìn)行),HQ-高清掃描,順序掃描,自動掃描,Tray-托盤掃描,預(yù)掃描和快速預(yù)掃描等;可以完成分層面積百分比計算;缺陷尺寸標(biāo)識;厚度與距離測量等 ;聲阻抗計算等。
綜上所述,基礎(chǔ)款就擁有如此強大的功能,其還有更多進(jìn)階版本,可以滿足各類苛刻使用要求的客戶。同時,科視達(dá)還攜手德國 PVA TePla 在上海成立了亞洲級別的德國 PVA TePla 超聲掃描顯微鏡上海聯(lián)合實驗室,為廣大用戶提供現(xiàn)場看機(jī)服務(wù),技術(shù)交流,及樣品外協(xié)測試服務(wù)。