掃描顯微鏡是一款材料分析工具，主打陶瓷材料以及金屬材料領(lǐng)域的分析，被廣泛應(yīng)用于地質(zhì)石油、礦物材質(zhì)、半導(dǎo)體電子、化工分子材料研究、生物醫(yī)學(xué)以及工農(nóng)等行業(yè)。今天就為大家介紹一下掃描顯微鏡的主要用途，看看它在各行各業(yè)是如何發(fā)揮自身作用的。

掃描電子顯微鏡是由7大系統(tǒng)合同協(xié)作組成的，包含電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)以及電源供給系統(tǒng)。掃描電鏡具備放大可調(diào)程度寬、圖像分辨率高、景像保真度高、三維效應(yīng)真實(shí)等優(yōu)勢(shì)，檢測(cè)的導(dǎo)電材料能直接放入樣品室進(jìn)行分析，而導(dǎo)電性差或絕緣的樣品就還要噴鍍導(dǎo)電層。掃描顯微鏡的主要用途歸納如下：

一、掃描顯微鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像-形貌分析，包含表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸。

二、顯示化學(xué)成分的空間變化，基于化學(xué)成分的相鑒定-化學(xué)成分像分布，微區(qū)化學(xué)成分分析。

三、利用背散射電子衍射信號(hào)對(duì)樣品物質(zhì)進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。

四、掃描電子顯微鏡在半導(dǎo)體器件研究中還有以下幾點(diǎn)的特殊應(yīng)用。

1、利用電子束感生電流進(jìn)行成像，可以用來(lái)進(jìn)行集成電路中的定位和損傷研究。2、利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來(lái)檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測(cè)試圖形和薄膜電阻的導(dǎo)電形式。

3、利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對(duì)于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。

從上述的用途功能總結(jié)，不難看出在科技助力產(chǎn)業(yè)的今天，掃描顯微鏡誠(chéng)然已經(jīng)逐漸陳偉現(xiàn)代科技檢測(cè)技術(shù)中很重要的一款工具，它能有效提升檢測(cè)的結(jié)果精度、內(nèi)容和檢測(cè)速度，樣本的范圍可以從數(shù)納米到數(shù)微米，為產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)提供保障。