C-SAM，全稱為超聲波掃描顯微鏡，或超聲波顯微鏡。半導體業界通常都直接簡稱為SAT，主要應用到半導體器件的后封裝檢測當中。在其正式運用到半導體工業之前，超聲波掃描顯微鏡主要用于生物學和醫學研究，但隨著時代的推進，科學家們發現，這類顯微鏡在檢測元器件內部缺陷時，也表現出了令人驚艷的能力。不過這類造價高昂的設備，在使用時也是有許多注意事項的。

1、請勿觸碰顯微鏡機器的內部電子元件，以免損壞；

2、操作時請勿將手放置在顯微鏡機器上；

3、請勿用力拉動顯微鏡控制臺；

4、使用顯微鏡時，請確保室內溫度和濕度適宜；

5、操作結束后，請關閉電源，將顯微鏡機器放回原處；

6、使用前應檢查顯微鏡機器的安全性；

7、顯微鏡操作人員應接受相關安全培訓，并承擔任何潛在的風險；

8、顯微鏡機器應定期維護和檢查，以保證正常運行；

除此之外，C-SAM也有著一套較為嚴謹的操作流程：

1、正確安裝超聲波掃描顯微鏡，將鼠標和控制臺連接到超聲波掃描顯微鏡上；

2、打開超聲波掃描顯微鏡，選擇所需的觀察模式，調節放大倍率；

3、用液體填充濾片，然后將濾片插入顯微鏡小玻片架；

4、調整聚焦輪，使液層平整，然后調整聚光輪，聚合觀察樣品；

5、選擇掃描模式，將濾片放置于掃描區域，拖動鼠標控制臺，以控制掃描位置；

6、調整掃描時間，掃描完成后記錄顯微鏡掃描結果；

7、拆卸濾片，將濾片放回原處，清潔顯微鏡，關閉顯微鏡機器；

C-SAM作為一種跨界幅度較大的檢測類設備，使用的細節和注意事項就是以上這些，但因為品牌以及產品型號有所差異，因此具體的情況還是要以說明書標注的為準，但只要大方向沒有問題，基本上數據就不會有太大的偏差，放心操作檢測即可。