超聲波掃描顯微鏡是一種用來準確掃描各類工件元器件缺陷的無損檢測設備，它具有先進的超聲顯微成像技術，被廣泛應在工業和軍事的各種半導體產品、芯片、電子器件、金剛石復合片以及復合材料的缺陷檢測之中，超聲波顯微鏡具有不同的掃描方式，對于不同的材料可以選擇適合的掃描方式進行檢測。
1、超聲A掃描
A掃描方式是利用波形顯示工件檢測結果，根據反射波強度判斷工件缺陷的嚴重程度，反射波的位置變化就是工件缺陷的位置，可以通過人工計算并標記，這種掃描方式通常應用在低頻超聲無損探測大工件領域，如隧道、管道、鐵軌等領域的探傷，由于是人工計算標記，因此需要一定的專科學識基礎。
2、超聲B掃描
B掃描方式通常為縱截面圖像顯示探測結果，在屏幕上橫坐標顯示探頭的掃差軌跡，縱坐標則是超聲波的傳播時間，這種方式可以監測工件缺陷的深度，而且掃描結果較為直觀，可以更快速便捷看見工件的縱深和厚度。
3、超聲C掃描
C掃描是較為工業中常用的掃描方式，這種方式可以探測出工件缺陷的水平方向橫截面圖像，不同于A/B掃描方式的數字處理計算方式，C掃描方式是直接圖像處理，探測結果更加直接顯示，甚至可以計算出缺陷面積準確反映工件的質量狀況。
4、超聲T掃描
T掃描是超聲波穿過檢測工件時接收處理生成的超聲全息圖像檢測，可以根據超聲穿透工件接收的回波強弱對被檢測工件進行綜合性整體缺陷分析和判斷。
以上就是關于超聲波掃描顯微鏡的幾種不同掃描方式的介紹，各種掃描檢測方式對于工件缺陷的檢測時間、圖像生成特性都不相同，因此在各行業進行樣品檢查和瑕疵檢測時應該根據不同掃描方式的優勢，選擇合適的檢測方式，如此才可以達到檢測事半功倍的效果。