超聲波掃描顯微鏡是一種用來準(zhǔn)確掃描各類工件元器件缺陷的無損檢測(cè)設(shè)備，它具有先進(jìn)的超聲顯微成像技術(shù)，被廣泛應(yīng)在工業(yè)和軍事的各種半導(dǎo)體產(chǎn)品、芯片、電子器件、金剛石復(fù)合片以及復(fù)合材料的缺陷檢測(cè)之中，超聲波顯微鏡具有不同的掃描方式，對(duì)于不同的材料可以選擇適合的掃描方式進(jìn)行檢測(cè)。

　　1、超聲A掃描

　　A掃描方式是利用波形顯示工件檢測(cè)結(jié)果，根據(jù)反射波強(qiáng)度判斷工件缺陷的嚴(yán)重程度，反射波的位置變化就是工件缺陷的位置，可以通過人工計(jì)算并標(biāo)記，這種掃描方式通常應(yīng)用在低頻超聲無損探測(cè)大工件領(lǐng)域，如隧道、管道、鐵軌等領(lǐng)域的探傷，由于是人工計(jì)算標(biāo)記，因此需要一定的專科學(xué)識(shí)基礎(chǔ)。

　　2、超聲B掃描

　　B掃描方式通常為縱截面圖像顯示探測(cè)結(jié)果，在屏幕上橫坐標(biāo)顯示探頭的掃差軌跡，縱坐標(biāo)則是超聲波的傳播時(shí)間，這種方式可以監(jiān)測(cè)工件缺陷的深度，而且掃描結(jié)果較為直觀，可以更快速便捷看見工件的縱深和厚度。

　　3、超聲C掃描

　　C掃描是較為工業(yè)中常用的掃描方式，這種方式可以探測(cè)出工件缺陷的水平方向橫截面圖像，不同于A/B掃描方式的數(shù)字處理計(jì)算方式，C掃描方式是直接圖像處理，探測(cè)結(jié)果更加直接顯示，甚至可以計(jì)算出缺陷面積準(zhǔn)確反映工件的質(zhì)量狀況。

　　4、超聲T掃描

　　T掃描是超聲波穿過檢測(cè)工件時(shí)接收處理生成的超聲全息圖像檢測(cè)，可以根據(jù)超聲穿透工件接收的回波強(qiáng)弱對(duì)被檢測(cè)工件進(jìn)行綜合性整體缺陷分析和判斷。

　　以上就是關(guān)于超聲波掃描顯微鏡的幾種不同掃描方式的介紹，各種掃描檢測(cè)方式對(duì)于工件缺陷的檢測(cè)時(shí)間、圖像生成特性都不相同，因此在各行業(yè)進(jìn)行樣品檢查和瑕疵檢測(cè)時(shí)應(yīng)該根據(jù)不同掃描方式的優(yōu)勢(shì)，選擇合適的檢測(cè)方式，如此才可以達(dá)到檢測(cè)事半功倍的效果。